TEL. 042-585-2840
〒191-0016 東京都日野市神明2-12-27
福島県本宮市〒969−1104 |
◆ 主要設備クリーンルーム(2室)、オーブン(6台)、超音波洗浄機(1台)、クリーンベンチ(1台)、高圧ジェットブース(1台)、真空包装機(2台)、電気炉〔1000℃〕(1台) 、ドライアイス洗浄機(1台)、ヘリウムリークディテクタ(1台)、各種測定器 ◆ 主たる納入先芝浦エレテック株式会社経由半導体デバイスメーカー、株式会社日立パワーデバイス、ミネベア (敬称略) ◆ 主たる洗浄品半導体製造装置(ドライエッチャー、プラズマCVD、スパック等)に組み込まれているシールド部品、内部治具の洗浄 ◆ 材質アルミアルマイト、セラミック、石英、SUS、テフロン |
洗浄室 |